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發布時間:2022-12-08 01:00:32 作者:知網小編 來源:www.ld2008.cn
壓阻式壓力傳感器是應用最廣泛的壓力傳感器之一。 壓阻式壓力傳感器是利用硅 的壓阻效應和微電子技術制成的,它具有靈敏度高、動態響應好、準確度高、易于微 型化和集成化等特點,是獲得廣泛應用,而且是發展迅速的一種新的物性型傳感器。 早期的壓阻傳感器是利用半導體應變片制成的粘貼型壓阻傳感器。 70年代以后,研制 出周邊固支的力敏電阻與硅膜片一體化的擴散型壓阻傳感器。 它易于批量生產,能夠方便地實現微型化、繼承化和智能化。 因而,它成為受到 人們普遍重視并重點開發的具有代表性的新型傳感器。 1.1.4 傳統壓力傳感器的局限性 傳統的傳感器技術為了提高其性能, 在制作材料方漸必須滿足多品種、 高性能的 要求,這就使得其成本居高不下, 而且對制作過程要求非常嚴格。